6.1 一般规定
6.2 高效过滤器扫描检漏
6.3 生物洁净室微生物检测
6.4 洁净室微振检测
6.5 围护结构表面导静电性检测
6.6 洁净室气流检测
6.7 非单向流洁净室自净能力检测
6.8 围护结构严密性检测
6.9 围护结构防渗漏检测
6.1 一般规定
6.2 高效过滤器扫描检漏
6.3 生物洁净室微生物检测
6.4 洁净室微振检测
6.5 围护结构表面导静电性检测
6.6 洁净室气流检测
6.7 非单向流洁净室自净能力检测
6.8 围护结构严密性检测
6.9 围护结构防渗漏检测
采暖通风与空气调节工
