4.1 俄歇电子能谱仪(可扫描成像)。亦可用其他类型的能谱仪。
俄歇电子能谱仪的具体部件、设备及操作应按仪器说明书上的规定进行;观察试样时,依据所需的放大倍数去选择。
4.2 分析条件
分析条件包括内容
——分析室真空:小于7X10-7Pa;
——初级电子能量:3keV;
——初级电子束流:0.5μA;
——初级电子束直径:<2μm;
——开机前确定电源电压稳定在220V;
——电气柜接通电源前,灯丝电流和电压旋钮应置于零;
——灯丝电流的控制方式应置于最大电流接近2.6A左右(旋钮读数为5.2);
——测量弹性峰时,Ep≤2000eV,倍增器高压用1kV;
——测量俄歇信号时,Ep可用3keV、5keV、或10keV,倍增器高压用1.5kV以上,脉冲计数方式,倍增器高压可用到2.5kV;
——锁定放大器的灵敏度档应由低到高调节,开关电源前,都应置于最低档(250mV)。