5.1 试样提取
5.1.1 试样处理
——在整个试样处理过程中要保证试样原有状态不受破坏,不引进污染,以免干扰测试结果;
——在提取短路熔珠时,切记不要用手直接触摸,要用镊子持取,将选取的熔珠用钳子夹住杆部,用另一把钳子把熔珠掰开。所用的钳子夹持部位事先要用丙酮、酒精清洗干净。亦不要接触其他能引进污染的物质,干扰分析结果;
——掰开之前熔珠表面已受到污染时,用丙酮 、酒精彻底清洗干净,待溶剂干燥后再掰开熔珠;
——为保持短路熔珠所携带的当时环境气氛的信息不被破坏,不要用溶剂浸泡,特别是已掰开的熔珠,避免空洞受到污染,尽可能缩短在空气中放置停留的时间,暂不用的熔珠可放在清洁的容器中。
5.1.2 试样成分的检验
——用清洗过的清洁钳子把熔珠和杆相接处掰开,并用导电胶把打开的熔珠粘到样品托上,在粘样品时,熔珠的空洞要向上,尽可能使熔珠剖面与样品托平面平行;
——用导电胶粘样品时要粘牢,导电胶不能太多,切记不要让导电胶浸没熔珠断面,最好把几个熔珠紧紧挤在一起多粘几个,以便分析时选用;
——样品粘好待导电胶干后(约10min即可),把试样装入系统中待分析;从掰开熔珠到装入仪器中应越快越好,尽量减少在空气中停留的时间;
——分析前试样不用Ar+离子溅射清洗,以保证空洞内表面所保留短路时环境条件特征不被破坏;
——分析时用电子束扫描成像,确定要分析的空洞内表面位置,放大倍数一般在100~200倍即可;
——选好分析点后,即可进行定点分析,但要注意的是,空洞深浅不同,分析时要及时调整分析点到分析器间的距离,以保证有足够大的信号。
5.1.3 分析样品注意
——熔珠有些空洞过深,难以接收到足够大的信号;
——熔珠空洞都很小,大多数空洞直径都小于1mm,空洞内表面的成分主要是C、N、O等,都属于超轻元素,表面聚集非常薄,其厚度只有原子厚,常用的电子显微镜、电子探针、扫描电镜、X光能谱等都无法完成这样的分析,只有扫描俄歇电子能谱仪能满足这些特殊要求;
——熔珠空洞较小,在空洞内产生的俄歇电子难以全部射出,只有少量的俄歇电子被接收,最终的信号很小,甚至有接收不到的俄歇信号,在使用简镜分析器的俄歇谱仪中,要随时调节被分析的空洞位置,以确保分析点处于分析器的最佳工作点上,以获得尽可能大的俄歇信号;
——为保证结果可靠,减少统计误差,在有限的试样中,应分析尽可能多的空洞。