D.1.1 风速检测仪器宜采用热风速仪、三维或等效三维超声风速仪、叶轮风速仪。风量检测仪器可采用带流量计的风量罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
D.1.2 单向流洁净室系统的系统总风量、室内截面平均风速和风口风量的测试应符合下列规定:
1 单向流洁净室室内风速的测试,其测试平面应为垂直于送风气流,距离高效空气过滤器出风面300mm处,测试平面应分成若干面积相等的栅格,栅格数量不应少于被测试截面面积(m²)10倍的平方根数,测点应取在每个栅格的中心,全部测点不应少于5点。
直接测量过滤器面风速时,测点距离过滤器出风面应为150mm,测试面应划分为面积相等边长不大于600mm×600mm的格栅,测点应取在每个栅格的中心。
每一风速测点持续测试的有效时间不应少于10s,并应记录最大值、最小值和平均值。
单向流洁净室(区)的总送风量应按下式计算:
式中:Vcp——每个栅格的平均风速(m/s);
A——每个栅格的面积(m²)。
2 单向流洁净室气流风速分布的测试,应由建设方、测试方共同协商确定,且宜在空态下进行。风速分布测试应取工作面高度为测试平面,平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积(m2)10倍的平方根数,测点应取在每个栅格的中心。
风速分布的不均匀度β0应按下式计算,其数值不应大于0.25。
式中:v——各测点风速的平均值;
s——标准差。
当洁净室内安装好工艺设备和工作台后,若还需进行风速分布测试时,其测试的实施要求、合格判断规定等应根据工程项目的具体情况由建设方、测试方共同协商确定。
D.1.3 洁净室系统风口风量的检测应符合下列规定:
1 安装有高效过滤器风口风量的测试,应根据风口形状采用加接辅助风管的方法。辅助风管应采用镀锌钢板或其他不产尘材料制成,形状及内截面应与风口相同,长度不应小于2倍风口长边长的直管段,并应连接于风口外部。应在辅助风管出口求取的风口截面平均风速和风量,并应按附录E.2的规定执行。
2 当风口上风侧有2倍风管长边长度的直管段,且已有预留测孔或可以设置测点时,风量宜采用风管法测试,并应按附录E.2的规定执行。
3 常规风口的送风量宜采用带有流量计的风罩仪进行直接测量,测量时风罩的开口应全部罩住被测风口,不应有泄漏。
4 风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时,可利用该流量计直接测量该处的风口风量。